化学气相沉积技术是一种重要的材料制备方式，是应用两种或多种气态物质在固体表面上产生化学反应和传输反应，产生新的固态沉积物的一种工艺。通过各种反应可形成多种金属、合金、陶瓷和化合物沉积涂层，从达到增强工件表面抗蚀及耐磨等功效。
